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器件与技术
SiC减薄工艺及薄片SiC肖特基二极管的制备刘敏;郑柳;何志;王文武;681-686+719材料与结构
不锈钢阳极氧化制备电极材料及其电化学性能李建业;张文磊;李廷鱼;郭丽芳;李刚;687-693
自组装WO3分级结构制备及其NO2气敏性能增强丁阳;刘立英;王炳荣;王如志;694-701+734
Ag@C核壳纳米结构的制备及其对双酚A的敏感特性董楠;曹可;郑丹;702-707+753
机械-化学耦合作用下GeSbTe相变材料的微观损伤行为杨凯;王晓东;程广贵;708-713+762
基于AlON的4H-SiC MOS高k栅介质电性能夏经华;桑玲;查祎英;杨霏;吴军民;王世海;万彩萍;许恒宇;714-719MEMS与传感器
一种基于氧化石墨烯的高性能声表面波湿度传感器张永威;谭秋林;张文栋;720-726
基于双锥纳米多孔薄膜的高性能电渗微泵任芳玲;陈琴华;武伦;冉凤英;刘经健;罗丹;李鹏;727-734
基于微波调制参数优化机理的磁强计灵敏度提高方法张卫东;邓胜礼;郭浩;唐军;735-740加工、测量与设备
微热压印制备三棱锥结构减反射薄膜吴海锋;许志龙;陈秀玉;石平;741-747
应用于有源芯片三维集成的小孔径高深宽比TSV刻蚀工艺赵鸿;李宝霞;房玉亮;王文杰;吴玮;748-753
NV色心磁测量研究现状及发展趋势马宗敏;郭卫军;郑斗斗;王军旗;柴笑晗;牛刘敏;秦丽;754-762
第一次征文通知第十五届固态和集成电路技术国际会议763
第十三届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知764