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《电子工业专用设备》2020年05期
 
更新日期:2023-08-10   来源:电子工业专用设备   浏览次数:105   在线投稿
 
 

核心提示:目录先进封装技术与设备集成电路铜布线CMP后BTA残留红外检测分析的研究刘宜霖;檀柏梅;高宝红;岳爽;刘雅文;1-5+28大尺寸晶圆磨削

 
目录
先进封装技术与设备
集成电路铜布线CMP后BTA残留红外检测分析的研究刘宜霖;檀柏梅;高宝红;岳爽;刘雅文;1-5+28
大尺寸晶圆磨削减薄设备气浮主轴承载特性研究王海明;叶乐志;李世玉;6-12+63
无氧铜电真空器件表面洁净工艺研究王殿;魏宇祥;13-16行业快讯
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一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺王勇威;夏楠君;亢喆;马雪婷;吴娖;郭立刚;23-28
APCVD制备SiOx薄膜工艺研究云娜;康洪亮;高丹;佟丽英;29-33
EtherCAT分布式运动控制系统在湿化学设备中的应用王洪建;刘凯文;李永红;何川;张玮琪;34-36+41测试测量技术与设备
激光干涉仪在XY工作台测量中的应用金黎雷;37-41
温度测量法在水压层压机维修中的应用张文朋;吴海;赵英伟;金黎雷;42-45
K-Means聚类算法及其性能优化研究刘骏;喻青;46-49电子专用设备研究
浅论非SiC类的非金属材料加热器陈龙豪;钱虞清;金磊;朱从健;50-55
透明防静电树脂板在电子工程中的应用研究张景春;司家林;56-63
基于大功率MOS管的D类功放设计李文;64-69
基于一种最大功率点跟踪算法的应用研究李志斌;刘帅;陈勇;杨彪;70-76行业快讯_业界要闻
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