目录
测量与控制
多口分子泵中检口位置对氦质谱检漏仪性能的影响研究李博;侯德峰;王晓冬;巴德纯;1-7
TVS-2M燃料棒在无阳极氧化下高温氦检漏可行性研究黄帆;杨通高;郭春海;曹晖;陈超;8-12
薄膜
原子层沉积法制备Al2O3薄膜研究近况和发展趋势段珊珊;施昌勇;杨丽珍;刘忠伟;张海宝;陈强;13-20
基于磁控溅射的纳米金属薄膜沉积工艺研究朱蓓蓓;倪昌;秦琳;楚建宁;陈肖;许剑锋;21-26
玻璃碳坩埚蒸镀金膜时物料飞溅的机理分析与控制付学成;毛海平;瞿敏妮;乌李瑛;王英;27-32
不同基体材料筒体内壁磁控溅射膜层工艺研究贺平;张旭;杨洋;33-37
宽角度入射近紫外反射镜的膜系优化设计与制备宋光辉;李文龙;王银河;胡雯雯;姚春龙;刘海涛;38-42
复合金属薄膜层对金丝键合性能的影响杨曌;罗俊尧;李保昌;李淑华;沓世我;付振晓;宁洪龙;43-47
电弧离子镀中Ti大颗粒在空间传输过程中速度和能量变化特征魏永强;48-54
信息
《真空镀膜技术与设备》（第2版）出版发行26
2021年《真空》杂志论文题录索引89-90
投搞须知91
欢迎订阅2022年《真空》杂志92
真空获得与设备
大口径超长U型气体池研制与分析刘海静;李灿伦;路同山;孙成恺;李卓慧;祁松松;刘家林;55-58
真空感应冶金设备隔离阀应用现状与展望薛庆增;陈久强;冯骏骁;滕龙;李秀章;李宏磊;59-62
真空冶金与热工
真空法从钛矿中制备钛的热力学可行性研究刘予成;杜远超;李秋霞;63-66
真空电子束熔炼用坩埚冷却装置框架的抗震分析成成;张帆;李菊;任琪琛;67-71
真空应用
真空冷冻干燥技术在疫苗研发与生产中的应用赵凡;韩峰;陈雨曈;赵耀;张志军;蔡旭;张世伟;72-78
猕猴桃片真空冷冻干燥工艺及其效率研究彭润玲;韦妍;王鹏;杨杰;吴亚梅;79-85
真空技术应用系列讲座
第二十一讲 真空卷绕镀膜张以忱;86-88