目录
技术论坛
基于TMD材料的CMOS反相器电路研究现状张璐;张亚东;殷华湘;185-195
器件与技术
InGaAs/InP台面型pin高速光电探测器韩孟序;齐利芳;尹顺政;196-200
材料与结构
FeNHf磁性薄膜微结构中太赫兹波损耗的抑制赵磊;谈阳;章强;邢园园;赵云;张晓渝;201-206
NiSe2/CC复合材料的制备及其电催化析氢反应性能罗小虎;张杰;慈成刚;柏任流;石德艳;夏开美;吴大旺;207-213
MEMS与传感器
一种非谐振式MEMS电磁能量收集器武绍宽;李孟委;金丽;罗戴钟;214-218+224
微型化FAIMS气体传感器的制备与测试张成印;雷程;梁庭;刘瑞芳;冯伟;单存良;薛胜方;219-224
硅纳米线传感器灵敏度研究进展方敏;闫江;魏千惠;张青竹;魏淑华;王艳蓉;张兆浩;熊恩毅;张双;张静;225-232+253
基于纸基电极的柔性电容式压力传感器张建;张鹏;陈昱丞;李玉霞;黄梁松;233-237+253
MEMS微同轴宽带功分器李康禾;李宏军;杨强;王建;史光华;238-243
加工、测量与设备
微流控通道加工技术的研究进展陈梦月;郝秀清;李子一;徐文豪;李亮;244-253
纳米化处理对g-C3N4物理性质和光催化性能的影响巴超群;方昱茜;刘彦伯;254-263+277
调制型Au/Sn薄膜微观形貌及合金化工艺沓世我;李淑华;李保昌;罗俊尧;杨曌;264-270
变温LPCVD沉积氮化硅薄膜的均匀性优化（英文）
任攀;魏明蕊;武鹏科;马少宇;刘贝贝;王尉;孙妍;271-277
中国电子科技集团公司第十三研究所光电专业部产品推介213
第十四届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知278