目录
器件与技术
IBC太阳电池技术的研究进展席珍珍;吴翔;屈小勇;郭永刚;371-378+415
材料与结构
微米硅-石墨-碳负极的制备及在锂离子电池中的应用董燕茹;孔国龙;张渝;马磊;魏良明;379-385
磷酸铁锂/小尺寸石墨烯复合锂离子电池阴极材料的制备及储能特性夏童;李刚;徐世伟;赵洋;胡南滔;386-391
MACE法制备多孔硅的形貌及光致发光性能张艺;端木庆铎;392-396
MEMS与传感器
基于PDMS-石墨烯泡沫的柔性压力传感器程丽霞;郝晓剑;王任鑫;刘国昌;397-402
集成硅纤毛的MEMS矢量水听器的压阻特性齐秉楠;王任鑫;史一明;苗晋威;任子明;403-409+420
基于pn结的微热加速度传感器王佩英;邱霁玄;张成功;王欢;李以贵;410-415
X波段MEMS环行隔离滤波芯片李志东;汪蔚;杨拥军;周嘉;翟晓飞;416-420
加工、测量与设备
基于溅射法集成氧化铱的双模微电极阵列王琛;王隆春;刘景全;421-425+457
冷压处理对Ag2Se纳米棒柔性热电薄膜性能的影响刘丹;赵亚欣;闫竹青;张志东;崔娟;郑永秋;薛晨阳;426-432+445
微型色谱柱制备及其GC谱线分离性能的优化王卓然;王晓雨;王博;王艳芳;侯中宇;433-438+451
Ti基吸气剂制备及其在MEMS晶圆级真空封装中的应用刘磊;王帆;喻磊;周魁;许磊;439-445
高质量6英寸4H-SiC同质外延层快速生长薛宏伟;袁肇耿;吴会旺;杨龙;446-451
清洗工艺对AlN单晶抛光片表面有机沾污的影响徐世海;边子夫;高飞;张丽;程红娟;王健;李晖;452-457
中国电子科技集团公司第十三研究所光电专业部产品推介391
第十四届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知458