目录
综述评论
高纯八氟环丁烷的制备及其在芯片制造中的应用张威;柳彤;王云飞;尚青;樊文端;1-5
电子级丙烯纯化研究概述陈艳珊;6-8
砷烷的纯化技术研究进展刘英杰;景显东;赵健;常琳;王雅婷;9-13
简议氢气液化工艺技术的发展李洁;14-16
探讨痕量惰性气体分析方法研究进展张晓楠;柏宏斌;孔晖;17-20
行业信息
专利技术5+8+13+16+20+47+50+54
研究与开发
弥散供氧的实验及仿真研究金浩;廖姣;21-25
SF6/N2混合气体中特征分解产物检测技术研究曹骏;袁小芳;马凤翔;刘子恩;宋玉梅;李建浩;26-30
LNG全容罐外框架及塔梯结构有限元计算与评定杨阳;孟树森;张疆平;马金华;刘俊;樊志刚;31-34+41
低温与制冷
开启式螺杆压缩机和半封闭螺杆压缩机在冷库的应用对比王赫;35-37+41
分析与测试
GC-AED在高纯磷烷特种气体杂质分析检测领域的研究应用朱颜;乔洋;陈化冰;黄呈熙;38-41
电子级三氯氢硅中微量氯硅烷杂质检测应用王春英;周晓咪;刘正启;42-44
电子工业气体氧化亚氮中C2烃杂质分离技术研究孙晓丽;罗旭;宋祥坤;常琳;赵家有;金炜;45-47
安全技术
关于JJG 1105—2015《氨气检测仪》中报警器示值误差的建议贺媛媛;程丽萍;吕利;薛岩明;刘学刚;李剑;刘培源;汪圣甲;48-50
钢瓶的管理及处理工艺改进研究柏宏斌;孔晖;张晓楠;51-54