目录
趋势与展望
时尚预测对产业装备设计的辅助作用研究孙斐;陆定邦;崔成强;1-3+21
先进封装技术与设备
引线键合设备压力控制机构的研究郝艳鹏;赵喜清;王增琴;马生生;郝耀武;4-6+26
半导体制造工艺与设备
气态氟化氢释放系统庞克俭;7-10
自动化离子注入设备控制系统的研究与设计周波;佘鹏程;罗超;11-15+38
MOCVD设备射频感应加热原理与故障分析刘成群;程壹涛;刘宇宁;16-21
碳化硅用多线切割机张力控制系统技术研究董同社;毛善高;段成龙;22-26
照明光瞳调制技术研究高爱梅;盛乃援;27-32
离子束刻蚀技术与设备常见故障分析程壹涛;刘成群;吴海;33-38
基于面阵相机识别生成晶圆图谱的算法研究周丹;霍杰;袁晓春;崔洁;39-41
电子专用设备研究
基于NDK的DSP网络通信技术研究郑佳晶;高荣荣;42-45
基于Modbus RTU协议的数据采集平台设计与实现艾博;许向阳;贾月明;46-49
氢气退火炉关键部件研究与开发赵志然;李明;黄志海;闫海莲;50-54
链式退火炉电气系统的研制万喜新;邓斌;王学仕;55-59
湿法工艺设备高温化学液的直排技术研究吴娖;祝福生;赵宝君;秦亚奇;安稳鹏;60-63+67
探针测试台X-Y工作台电机控制周豪;64-67
加速特征相关(FD)干法刻蚀的工艺发展68-70
美光发布第六次年度可持续发展报告59
中国已成为全球外延设备的主要驱动力量59