目录
薄膜
溅射电压对高功率脉冲磁控溅射Cu箔微观结构及性能的影响 余康元;何玉丹;杨波;罗江山;1-4
沉积入射角度对热障涂层形貌和性能的影响 张彬;蔡妍;张涛;常振东;曾令玉;牟仁德;5-11
真空镀膜助力低碳制造与可持续发展 孙彬;刘兴龙;徐乘远;王庆;蔺增;12-17
不同生长温度下Zn1-xSbxO薄膜的结构与发光性能研究 朱建华;潘婧;岳建明;郝丽萍;支鹏伟;贾哲;18-23
三种溅射深度剖析定量分析模型解析表达式的比较 钟凤敏;王穗鹏;郑锦权;杨浩;Siegfried Hofmann;徐从康;王江涌;24-41
氧气压强对脉冲激光沉积法制备的CuO薄膜性能的影响 向玉春;朱建雷;袁亚;42-45
信息
《真空工程设计（上、下册）》出版发行 41
《现代离子镀膜技术》一书出版发行 71
《阴极弧：从分形弧斑到荷能凝聚》中文版发行 85
欢迎订阅2023年《真空》杂志 89
中国真空学会2023年活动计划表 90-91
投稿须知 92
真空获得与设备
以场景为设计输入的螺杆干式真空-压缩系统研究 任昌青;徐法俭;黄志婷;袁铮;张泽升;46-50
机械真空泵除尘系统的设计和优化改进 杜善国;李博;李强;许有民;51-54
测量与控制
CSNS DTL真空泄漏解决方案 刘顺明;王鹏程;刘佳明;谭彪;孙晓阳;王一刚;朱邦乐;宋洪;李波;吴小磊;李阿红;55-61
高性能电子枪的物理设计 石晓倩;刘佳辉;陈雪颖;郭方准;62-66
氙气与多种示漏气体漏率转换关系研究 韩琰;孙立臣;王静涛;刘一欢;陈文卿;眭霄翔;67-71
真空冶金与热工
用于核电元件制造的深井式真空钎焊设备设计 卢少波;韩永超;宋艳鹏;张吉峰;72-75
基于模态振型优化的真空凝壳炉减振设计方法 高昕星;刘鑫;张瑞宇;刘时兵;李心可;76-79
一种含锆高温合金与坩埚耐火材料的界面反应研究 张凤祥;张鹏;李怡;马秀萍;刘东方;万旭杰;张华霞;80-85
真空技术应用系列讲座
第二十二讲 化学气相沉积（CVD）技术 张以忱;86-88