目录
薄膜
Cr-CrN-Cr-CrAlN多层膜厚度对结构和性能的影响 林松盛;刘若愚;田甜;吕亮;苏一凡;汪云程;石倩;云海涛;唐鹏;郑彩凤;易出山;1-7
卷绕镀铜工艺对复合集流体电学性能影响研究 张艳鹏;曹志强;付强;曹磊;刘旭;8-12
离子溅射仪油雾污染对溅射基底的影响 彭波;袁秋;孟晓敏;13-17
功能性PET复合膜的制备及性能研究 任冬雪;孙小杰;陈兰兰;18-23
氧气等离子体处理提升InZnO材料及TFT电学性能和稳定性研究 黄传鑫;辛纪英;田中俊;王猛;吕凯凯;梁兰菊;刘云云;24-28
信息
《真空工程设计（上、下册）》出版发行 23
《阴极弧：从分形弧斑到荷能凝聚》中文版发行 74
《现代离子镀膜技术》一书出版发行 84
东北大学第十九期《真空技术》论坛通知 89-90
中国真空学会2023年活动计划表 91-92
测量与控制
小型带电粒子发射枪的研发 郭方准;石晓倩;王润成;29-35
微型化阳极层推力器数值模拟与性能实验 李平川;许丽;赵杰;张帆;熊思维;简毅;张正浩;唐德礼;36-41
面向凝汽器检漏需求的多工质泄漏研究 袁翠平;眭宵翔;李征;李文斌;张子罡;张海峰;42-46
密封结构泄漏超声频谱特性分析影响研究 孙伟;王莉娜;李征;孙立臣;闫荣鑫;47-53
真空获得与设备
微型化真空泵技术 李兴辉;杜婷;韩攀阳;陈海军;蔡军;冯进军;54-59
真空材料放气率高精度测量装置 李津铭;王进伟;刘俊男;陈明;60-64
玻璃钢及多层绝热材料真空放气速率试验研究 王敬哲;周飞鸽;冯慧华;65-68
可用于氘氚气体输运的气体循环增压泵性能测试 易均;周帆;邓合;岳晓斌;王宝瑞;韩志甲;王进;69-74
半球谐振陀螺高真空维持技术 张红波;曲天良;王鹏;75-79
真空冶金与热工
真空浇注过程中高温合金锭表面气孔产生原因分析 张凤祥;马国宏;万旭杰;马秀萍;吴柯汉;张华霞;80-84
真空技术应用系列讲座
第二十二讲 化学气相沉积（CVD）技术 张以忱;85-88