目录
薄膜
多元稀土掺杂YSZ热障涂层的热物理和热循环性能研究 黄光宏;甄真;王鑫;牟仁德;何利民;许振华;1-9
等离子增强磁控溅射制备TiCr基纳米复合涂层的显微组织和性能 李灿民;董中林;夏正卫;张心凤;魏荣华;10-15
卷绕蒸镀设备偏置线圈设计及参数分析 尹翔;陈世斌;张艳鹏;刘旭;龙连春;16-21
大尺寸方形载板MOCVD反应腔分气和薄膜沉积过程影响因素的数值模拟研究 于大洋;吴改;22-28
TiAlN硬质薄膜的制备工艺及结构性能研究进展 徐照英;张腾飞;王锦标;陈巧旺;29-36
测量与控制
温度对石墨烯真空标准漏孔漏率的影响研究 刘楚彦;刘招贤;任国华;韩琰;孙立臣;闫荣鑫;孟冬辉;37-41
一种空间微型质谱仪的芯片级离子源研究 窦仁超;崔寓淏;喻新发;冯琪;刘坤;闫荣鑫;孙立臣;孟冬辉;42-46
高精度电子束偏转系统优化建立与仿真研究 贾子朝;郭志伟;高学林;47-52
一种小型化过程检测质谱仪的设计与研制 沈辉;于佳佳;侍尉;庞骏德;陈延龙;景加荣;53-57
真空获得与设备
车辆试验舱低气压动态试验系统设计 刘中博;58-61
基于TRIZ理论的一种提升罗茨真空泵基础压力的设计方法 李小金;李正清;韩仙虎;蔡宇宏;杨建斌;刘筱文;62-67
浮空器囊体材料的气密性研究 董莉;68-72
喷油螺杆真空泵油气分离系统的设计研究 李福送;王文军;林伟健;豆璇凯;陈斌;赵毅;73-77
真空冶金与热工
电子束熔炼用水冷铜坩埚研制 闫超;张涛;贾子朝;成成;赵国华;78-85
真空技术及应用系列讲座
第二十二讲 化学气相沉积（CVD）技术 张以忱;86-88
信息
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中国真空学会2024活动计划表 90-91
《真空》创刊60周年专刊征稿通知 92