目录
真空技术与理论
基于CFD方法的低温泵热力学设计与数值仿真研究赵月帅;孙立臣;邵容平;孙伟;443-449
HIRFL-800低温泵快速再生系统研究李长春;朱小荣;蒙峻;罗成;贾豫生;蔺晓建;刘建龙;450-454
混合室轴向结构参数对蒸气喷射器性能的影响于文艳;王海博;田瑞;455-458电子器件
介质层参数对表面型等离子体显示器性能优化的研究朱笛;孙晓东;王莎莎;白晋军;陈力颖;张雄;459-464
双电子注高次模折叠波导慢波结构注波互作用仿真分析高鹏鹏;刘文鑫;张兆传;465-471
同轴交错双栅行波管三维频域非线性注波互作用计算和比较樊宇;罗积润;刘雅琳;朱方;谢文球;唐彦娜;472-478结构薄膜
复合磁控溅射Zr-B-N涂层微结构的控制及性能研究张姣姣;王铁钢;阎兵;艾业华;王妍;刘艳梅;邵娜;479-486
射频磁控溅射制备(AlCrTiZrNb)N高熵合金薄膜的微观组织和力学性能黄纯可;李伟;刘平;张柯;陈小红;马凤仓;刘新宽;487-493纳米技术
高纯度纳米硅粉的制备及其在水中的分散工艺研究李振;张振忠;耿志鹏;赵芳霞;武黎明;494-500
Fe掺杂空位缺陷碳纳米管吸附SO2分子:第一性原理研究贾晓彤;安立宝;刘扬;501-507工艺设备
氟离子对硅化学机械抛光作用机理研究汪海波;王笑颜;张忠祥;鲁世斌;王菲菲;杨金;508-514
碳纤维复合材料超声辅助磨削加工表面质量影响因素及交互作用研究邵延君;苗苗;王俊元;许向川;515-520功能薄膜
磁控溅射Nb掺杂TiO2薄膜的研究辛荣生;苏雷生;林钰;姚志强;521-526真空冶炼
基于流-固耦合传热的冷坩埚分瓣散热研究宗学文;张斌;王海荣;527-530其他
木星磁场对航天器表面充电的影响分析朱基聪;方美华;武明志;田鹏宇;费涛;531-536
基于LabVIEW的助力器下壳体测试台设计王锐;王晓东;王刚;537-541
《真空科学与技术学报》征稿说明542