目录
真空技术与理论
泵用直谷转子的参数化造型与尺寸优选李玉龙;孙付春;张宸赫;冉光泽;825-828
空间行波管排气过程中残余气体的质谱分析刘晋允;赵世柯;梁文龙;829-833
新型吸气剂泵真空测试系统的搭建与实验研究王俊儒;余耀伟;吴金华;胡建生;834-838
大容积密闭容器背压法漏率检测关键技术研究许阳光;潘晓霞;刘晓艰;王彤;蔡悦;曾祥兵;杜宏伟;廖彬;839-845
SiC陶瓷与316L不锈钢真空活性钎焊欧婷;张德库;王康;王克鸿;846-851等离子体技术
应用于燃料重整制氢的低温等离子体技术黄民双;欧文新;刘晓晨;冯音琦;852-860
电-磁场协同增强高功率脉冲磁控放电特性研究李春伟;田修波;孙百会;赵美君;宋炜昱;吴松;861-868
可编程的多波形脉冲低温等离子电源邹林;余厉阳;段誉;869-874
空心内磁极圆柱形阳极层霍尔推进器溅射仿真李平川;唐德礼;赵杰;耿少飞;张帆;875-882
考虑等离子体粘性时的扰动磁场代玉杰;王学慧;883-886结构薄膜
金属组元配比对(ZrTiAl)N膜相组成和硬度的影响李长鸣;张钧;阎鑫;王建民;李阳;高术振;887-893
氮气流量对直流磁控溅射Zr-B-O-N薄膜摩擦学行为的影响吴立国;王铁钢;郭玉垚;杨祖兵;刘艳梅;唐宽瑜;894-900功能薄膜
空间部件表面Ti/MoS2润滑涂层性能研究鞠鹏飞;王海新;蒲吉斌;王立平;901-905真空冶炼
强脉冲电流对Cu-SiCp/AZ91D组织和性能的影响余挺;王东新;秦春;闫志杰;耿桂宏;906-912电子器件
小角度偏转离子能量分析器性能仿真研究乔路;王国栋;张棋;李涛;窦仁超;焦子龙;913-918其他
管壳式换热器流体与传热模拟分析李晓敏;王立军;王河;919-923
《真空科学与技术学报》征稿说明924