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曾用刊名：半导体设备
《电子工业专用设备》（双月刊）创刊于1971年，是由中国信息产业部主管,中国电子科技集团公司第四十五研究所主办,中国电子专用设备工业协会会刊；是业内最具权威的国内外公开发行的国家级刊物。本刊是目前国内电子专用设备领域唯一获正规出版发行的权威专业刊物，多年来为推动我国电子专用设备的发展发挥了极其重要的作用。
主要栏目：趋势与展望、材料制造工艺与设备、先进封装与设备、先进光刻技术与设备、业绩访谈、企业之窗。
本刊为：维普收录, 万方收录, 知网收录, 超星收录,第一批认定学术期刊。